ST-500 PI（壓力不敏感）數字型全金屬密封質量流量控制器

PI壓力不敏感設計，全金屬密封，抗腐蝕性強，滿量程10SCCM~30SLPM，±1.0%SP精度，帶顯示屏

ST500繼承了ST550的全金屬密封產品高精度、快速響應、低泄漏率和兼容腐蝕性介質等優(yōu)點。此外，相比于傳統的質量流量控制器，ST-500配備PI功能(Pressure Insensitive 壓力不敏感)。即在流量傳感器前段搭載壓力傳感器，根據捕捉到壓力變動以及變動前的變化，實時修正閥的開度，達成針對壓力變化也可以穩(wěn)定控制流量的目的。
非常適用于半導體設備制造等對于穩(wěn)定性和精確性等有高要求的氣體供給工藝。

應用及案例

? 半導體設備

? 工業(yè)爐窯

? 生物發(fā)酵培養(yǎng)設備

? 分析儀器

? 醫(yī)療設備

? 燃料電池

? 燃燒行業(yè)

? 汽車零部件檢測

? 真空鍍膜

? 光伏

? 食品和制藥

? 實驗室等

產品特色技術參數尺寸詳圖產品大圖訂貨選型宣傳彩頁

產品特點

? 采用隔膜式的全金屬密封MFC，經過EP以及氧化覆膜處理，可以兼容腐蝕性介質

? 帶顯示屏

? PI壓力不敏感設計

? 數字通訊：DeviceNet通信對應

? 可選IGS W型密封圈接頭

? 響應時間快：＜1秒

? 高精度：精度±1.0%SP(>10%FS);±0.1%FS(≤10%FS)

? 量程可切換：支持修改滿量程的30~110%

? 泄漏率低至＜1.0x10^-11pa*m³/sec(He)

技術參數

傳感器類型		熱式繞線型
閥門		電磁比例閥（斷電時關閉）
適用氣體※1		干燥的兼容性氣體
量程※2		10、30、50、100、300、500SCCM， 1、3、5、10 SLPM	30 SLPM
控制范圍		2~100%FS
響應時間		＜1s
精度		±1%SP（10～100%FS）；±0.1%FS（2～10%FS）
重復性		± 0.2%FS
動作壓差	L型	50~149 KPa	50~199 KPa
	H型	150~300 KPa	200~300 KPa
入口最大壓力		300KPa（G）
最大耐壓		1MPa（G）
PI功能※3		過沖流量≤±2%FS
外部泄漏率		＜1.0x10^-11pa*m³/sec（He）
溫度	允許環(huán)境溫度	5~50 ℃
	精度保證溫度	15~40 ℃
	允許保存溫度	0~60 ℃
允許環(huán)境濕度		0~80%RH（未冷凝）
接液材質		316L、PTFE、Au、Co-Ni
密封材料		SUS316L、Au
電氣連接 DeviceNet?		M12型5芯接頭
數字通訊		DeviceNet?
所需電源		11-25VDC，（5VA max）
過程接口		1.125"W型92 mm或1/4"VCRM
安裝方向		建議水平方向
重量		約1000 g
顯示		4位顯示屏