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ALICAT 氣體質量流量控制器-雙向型 22系列
品牌: ALICAT
量程-0.5SCCM～0.5SCCM到-3000SLPM～3000SLPM量程比200：1內置98種氣體，100ms響應，優于1%精度
ALICAT 氣體質量流量控制器-雙向型 22S系列
抗腐蝕型，內置128種氣體量程-0.5SCCM～0.5SCCM到-5000SLPM～5000SLPM量程比100：1，100ms響應，優于1%精度
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