ALICAT 帶集成截止閥氣體質量流量控制器 21V系列

品牌：ALICAT

量 程 0～0.5 SCCM —— 0～20 SLPM
量程比 200：1
內置98種氣體，100ms響應時間，優于1%精度

ALICAT 氣體質量流量控制器-基本型 11系列

品牌：ALICAT

量 程 0-100 SCCM到0-250 SLPM
質量流量普通精度 ± 0.6% 讀數或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）
質量流量高精度 ± 0.5% 讀數或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）

ALICAT 截止閥質量流量控制器 21VS系列

品牌：ALICAT

量 程 0～0.5 SCCM —— 0～20 SLPM
量程比 100：1
內置128種氣體，100ms快速響應時間，優于1%的精度

ALICAT 高壓氣體質量流量控制器 21Q系列

品牌：ALICAT

響應式氣體流量控制，適用于高壓應用

ALICAT CVD專用氣體質量流量控制器 51系列

品牌：ALICAT

CVD專用氣體質量流量控制器
層流差壓原理
非抗腐蝕

ALICAT CVD行業專用真空控制器 53系列

品牌：ALICAT

CVD行業專用真空控制器

ALICAT 氣體質量流量控制器 03系列

品牌：ALICAT

品牌: ALICAT
滿量程 100 SCCM - 100 SLPM，優于 1.5%RD 精度

ALICAT 手持式大氣采樣流量校準儀 66系列

品牌：ALICAT

量 程 0-25 LPM
測量范圍廣，0.5～100%滿量程
空氣標定，快速響應，可讀取平均值或瞬時值

ALICAT 氣體質量流量計-便攜式 62/62A系列

品牌：ALICAT

量 程：0.5 SCCM - 10000 SLPM
內置98種氣體，10ms快速響應時間，優于1%的精度

ALICAT 氣體質量流量計-便攜式-低壓損型 62W/62AW系列

品牌：ALICAT

量 程 0.5 SCCM - 1000 SLPM
量 程 比 10000：1
精 度 ± （0.8%讀數+ 0.2%滿量程）