ALICAT(艾里卡特) OEM氣體質量流量計 IM系列

介質種類

內置了30種氣體，用戶可現場切換

量    程

從0-0.5 SCCM 到 0-20 SLPM（詳情請咨詢）

量 程  比

0.2～100%滿量程（500:1）

質量流量精度    

±0.8 %讀數或 ± 0.2 %滿量程，取大值

重 復 性（2σ）    

±（0.15% 讀數 + 0.05% 滿量程）

質量流量溫度零點和滿量程漂移    

0.025%滿量程/℃（從25℃開始）

質量流量壓力零點漂移：

+0.02 % 滿量程/ Atm（從清零壓力開始）

質量流量壓力滿量程漂移    

±0.2 % 讀數/ Atm（從校準壓力開始）

控制響應時間(T63)    

＜50ms（與流量相關，用戶可調）

顯示響應時間         

＜10ms(與流量相關)

傳感器響應時間       

  1ms

預熱時間

<1s

工作溫度

0 ～ +60 ?C（環境和氣體）

溫度精度

± 0.75℃

工作濕度

0-95%，無冷凝

工作壓力

11.5-160PSIA

壓力精度    

±0.5%讀數（＞1Atm），或±0.07PSIA（＜1Atm）

耐壓

200PSIA（靜壓）；75PSID（進出口差壓）

數字輸出信號    

RS232串口和Modbus RTU（默認）；可選RS485串口和Modbus RTU

模擬輸出信號   

 0-5Vdc（默認）；可選1-5Vdc，0-10Vdc或4-20mA

模擬信號精度    

在基礎誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差

數據刷新頻率    

數字信號40Hz@19200波特率；

模擬信號：1000Hz

供電電壓     

12-24 VDC

供電電流    

12mA； 模擬輸出選擇4 - 20 mA則為50mA

電氣接口   

DB9M

材    質   

主體材質：鋁；

密封材質FKM；

傳感器材質請咨詢工廠

過程接口    

NPT內螺紋，詳細規格參考壓損表

安裝方向   

 無要求

安裝固定孔  

 2×8-32UNC螺紋，孔深0.328’’

防護等級    

IP40

LED狀態指示燈    

供電，通訊和故障

0.5 50sccm

1.0

3.67''H ×2.38''W ×1.05''D

M5內螺紋（10-32兼容）

（隨貨帶Buna-N面密封轉1/8''NPT內螺紋接頭）

0.4lb（約0.2kg）

100sccm - 20 slpm

1/8''NPT內螺紋